ガス導入TEMホルダー
北野精機株式会社

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この製品について

■概要ガス導入TEMホルダーは、試料ホルダー部にガスを導入しながら観察及び測定することが出来るTEM用試料ホルダーです。

■特徴・ガス導入用バルブにはPZTアクチエーターを使用して振動を抑えていますので、標準ホルダーと同レベルの分解能で試料の観察及び測定をすることが出来ます
・試料ホルダー及び試料室へのガス導入を行うことが出来ます
・導入するガスのタンクへの充填も可能です
・試料室と真空容器の間は複数のオリフィスで仕切られていますので、高いガス圧力下での観察及び測定が可能です
・観察及び測定中のガスの排気はTEMホルダーの差動排気にて行えますので、TEM本体への影響は軽減されています