自動昇降式垂直チューブ炉 V-L
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この製品について

V-Lはんだ付けチューブ炉は、最も低い動作圧力を発生させるのに適しています。この真空機能により、最高純度のガス雰囲気を得ることができます。V-Lは垂直に設置された管状炉で、試料を入れた石英管の上に炉床を昇降させるだけでなく、試料の装填と取り出しを自動制御します。

石英管は炉に接続されていますので、はんだ付け炉に装填する際には、石英管と炉床を上方に持ち上げて、サンプルエリアに自由にアクセスします。

試料を装填した後、石英管と炉床は下降して所定の位置に固定され、高真空動作が可能な熱処理工程に入ります。また、加熱後に炉床を上方に持ち上げて石英管から離し、真空、大気、不活性ガス雰囲気中で試料を急冷することもできます。

はんだ付け炉は、CrFeAlワイヤーエレメントとセラミックファイバーの絶縁体を使用しています。温度は熱電対で監視・制御されます。最高温度は石英管によって制限されており、真空運転時には1,050℃にもなります。石英管は上部が閉じられており、下部は試料を入れることができるように開放されていて、ポリマーシールで真空システムを取り付けることができます。

使用可能なスペースは、直径180mm、高さ300mmで、約2リットルの容量があり、迅速に排気することができます。また、石英管を採用しているため、非常にクリーンな操作空間を実現しています。さらに、V-Lは急速冷却が可能で、ユーザーが炉にアクセスしやすいように設計されています。5x10-6mbar以上の高真空レベルを実現しています。

ガスは様々な注入装置や制御装置によって制御されます。真空は要求される真空度に応じて様々なポンプステーションで供給されます。

■技術詳細はんだ付け炉はセラミックファイバーで絶縁されており、CrFeAlワイヤーの発熱体を備えています。炉床の上部はセラミックファイバー製のプラグで閉じられ、密閉されています。炉には3つの加熱ゾーンがあり、最高の温度均一性を得るために操作ソフトで制御されます。はんだ付け炉の温度は、各ゾーンに設置されたマントル熱電対と、過熱用熱電対によって監視・制御されます。