ダイシング添加剤ディアマフロー
ハイソル株式会社

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この製品について

世界トップシェアのKETECA社のダイシング添加剤ディアマフロー。ダイシング時の切削水に添加することで、ウエハのチッピングやクラックを低減、パッドの腐食、再付着の防止につながります。歩留まりアップ、ブレードライフの向上、コスト削減に。

■概要・ダイシングプロセス時に添加することで、製品の歩留まり向上。
・製品は親水性・親油性であり、切削水の表面張力を低減。
・切削水の表面張は50パーセント以上低下します。 (表面張力：72→31 dynes/cmに低下) 
・切り口の深くまで切削水が浸漬し、切削箇所が低温に保たれます。
・生分解性物質、排水処理も簡易です。RoHS2認証を取得。

■特徴・ダイシング切削水の表面張力を低減し、ブレードとウエハ間に深く浸透し冷却水の効果を向上。
・取り扱いが簡易で、様々なダイシングメーカーの装置に対応可能。
・KETECA社のディスペンサーシステムを使用し、純水とディアマフローの安定した比率で供給。
・濡れ性の向上とパーティクル除去率の向上へ。ダイシング後のダイやボンディングパッドをよりクリーンな状態に。

■ダイシング添加剤有無の比較水分子は高い表面張力の為、ウエハの上部に溜まり、切り口に浸透しにくいです。その為、ブレードと切削領域に切りくずが蓄積し、チッピング、内部クラックが生じやすいです。

ディアマフローを使用することによって、表面張力を効果的に低下させ、切り口に奥深くまで水が浸透し、切削くずが流出し、切削部分が低温に保たれます。