顕微鏡用ローダー装置 V1000
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この製品について

V1000顕微鏡用ローダー装置は、ソフトウェア上で作成したレシピ制御により、ウェハをカセットから顕微鏡の検査用ステージへと移動させることができます。レシピは1度作成されるとデータベースに保存されるので、再び同じプロセスを実行することが出来ます。このローダー装置は、ほぼ全ての顕微鏡と互換性をもっており、装置導入を容易に行うことが可能です。

■特長・装置にウェハカセットをセットするとカセットマッピングを自動的に行い、カセット内のウェハを自動検出します。
・ウェハのローディング及び検査プロセスをソフトウェア上のレシピによっておこなうことが可能であるので、高精度な検査を保障することができます。
・装置には操作用ハンドルが備えつけてあり、オペレーターはこのハンドルを使用することで、検査プロセス中にウェハを低速回転させることなどの操作を行うことが出来ます。
・ほぼすべての半導体検査用顕微鏡と互換性を有しております。