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卓上型マニュアル劈開装置 PELCO® LatticeAx®-PELCO® LatticeAx®
卓上型マニュアル劈開装置 PELCO® LatticeAx®-ハイソル株式会社

卓上型マニュアル劈開装置 PELCO® LatticeAx®
ハイソル株式会社

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この製品について

Ted Pella社 (米国) は、世界最高レベルの高精度な劈開 (へきかい) をマニュアル装置で実現した劈開装置メーカーです。一台の装置でマイクロインデント (浅い切込み) から劈開まで行うことが出来、その精度は±10um以内になります (特許申請中) 。 近年では、TSVやバンプの断面観察の前処理用途として注目を集め、僅か5分以内にそのままSEM観察が出来るレベルの断面を出すことや、FIB等の加工時間を大幅に短縮する前処理ツールとしても使用されております。スクライブは行いませんので、ターゲット箇所を損失することもございません。 これまでの簡易的な劈開装置とは全くことなります。 PELCO®️ LatticeAx®️マニュアル劈開装置を使用することにより、 断面解析のプロセスが大きく変わることになります。

■一般的なマニュアルスクライブ、劈開のデメリット

・精度が悪い (実際には100um程度) ・再現性や精度が作業者に依存する ・FIBなど、次の処理に時間が掛かる

■研磨のデメリット

・サンプルを樹脂埋めする必要があり、研磨前の処理にも時間が掛かる ・オーバーポリッシュ、研磨による汚れやサンプルへの負荷など様々なリスクがある ・研磨液、研磨バフ等、消耗品のコストが高額 ・研磨の負荷によって観察箇所の状態が変化することがある

■プロセスが長期に亘り、自動劈開に20～50分掛かる

・サンプルの制約が多い (サンプルサイズや種類、厚み、エッジの状態) ・高額な装置価格に加え、オペレーション、サービスに掛かるコストが高い

■装置特長

・早い (5分以内) ・高精度 (±10um以内) ・作業者に左右されない高い再現性 ・低価格 ・最大サンプルサイズ：8インチウエハーまたは1/2-300mmウエハー ・最小サンプルサイズ：9mm 　※これ以下のサイズは、専用アクセサリーキットを使用 ・TSVやバンプの断面解析に最適 ・鏡面仕上げ

  • シリーズ

    卓上型マニュアル劈開装置 PELCO® LatticeAx®

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卓上型マニュアル劈開装置 PELCO® LatticeAx® 品番1件

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PELCO® LatticeAx®

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この商品の取り扱い会社情報

ハイソル株式会社

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会社概要

ハイソル株式会社は、半導体、車載デバイス、センサー、LD・LED分野で、輸入製品の販売、及び、各種製造装置の開発・設計・製作・販売を行っている企業です。所在地は東京都台東区です。 1967年に、ウエスト・ボンド社製ワイヤ...

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  • 本社所在地: 東京都
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