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シリーズ
真空ガス置換ポリイミドキュアオーブン 450PB12-2P-CP取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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真空オーブンの製品21点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適合クリーンルーム | チャンバー内クリーン度 | 動作温度 | キャパシティ (25枚/カセット) | N2流量 (消費量) | チャンバー内部寸法 (約) ID x D | プロセスエリア寸法 (約) W×D×H | 外形寸法 (約) W×D×H | 制御ユニット寸法 (約) W×D×H | チャンバー材質 | プロセスガス入力 | マスフローコントローラ | レシピ数 | ステップ数 | 設定時間 | 時間設定分解能 | 温度均一性 (25枚/カセット) | 平均加熱レート (150-450℃) | 平均冷却レート (450-150℃) | 酸素濃度 | 電源電圧 | 重量 (約) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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450PB12-2P-CP |
要見積もり | Class 10 | Class 1 | 室温 – 450℃ (オプション550℃) |
12″ ウェハ 2カセット |
1 SCFM (15-25 liters/min) | 53×104cm | 38×74×36cm | 89.5×174.5×139cm | 59×96×24 cm | SUS 316L | 標準 1系統 (オプション3系統) | オプション (最大3系統付与可能) | 8 | 16 | 0 – 99時間 | 1分 | ±7℃ | 6.5℃/分 | 3.5℃/分 |
10 ppm以下 オプション：酸素濃度計 |
三相 208V 40A 50/60Hz | 406 kg |
