レーザービームプロファイラースリットスキャン型ビームプロファイラー-XY走査スリット型ビームプロファイラー Beam'R2

レーザービームプロファイラースリットスキャン型ビームプロファイラー
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この製品について

スキャンスリット (走査スリット) 型のビームプロファイラ—はSi、InAs、InGaAsのセンサーを選択することが可能です。『回転走査スリット型』では、Si/InGaAs2つのディテクターを搭載し、1台で幅広い波長に対応したBeam'R DDや、ビーム径、M^2などを測定可能なBeam Map2シリーズなどユニークなプロファイラーをラインアップ。

また、『リニア走査スリット型』で1/e^2、FWHMのビームサイズが測定可能。 (楕円形ビームも測定可) オプションステージとの組み合わせにより最大45×23mm以下のビーム径の測定が可能です。

■XY走査スリット型ビームプロファイラーBeam'R2Beam'R2 回転スキャンタイプのビームプロファイラーです。ディテクターは以下の2つのいずれかから選ぶことが可能です。
・Si (190～1,150nm) 。
・InGaAs (650～1,800nm) 。

本ビームプロファイラーのユニークな特長として、SiとInGaAs両方のディテクターを搭載し、1台で幅広い波長帯に対応することも可能です。また、ディテクターを2つ搭載した場合に限り、InGaAs (extended) ディテクターを搭載可能で、最長で～2,500nmまで測定可能です。

■特長・幅広い波長に対応。190～1,150nm、Siliconディテクター。650～1,800nm、InGaAsディテクター。1,000～2,300または2,500nm、InGaAs (extended) ディテクター。
・ビーム径5µm～4mmまでのレーザーに対応 (Siディテクター、Knife Edgeモード1µm設定時) 。
・0.1µmの測定分解能。
・Linear&log X-Y profiles、centroid。
・プロファイルズーム&スリット幅補正機能あり。
・CW；パルスレーザー、Φµm≥[500/ (PRR in kHz) ]。
・USB2.0、バスパワー駆動。
・M^2測定オプションあり (ビーム伝播、広がり角、フォーカスの解析に) 。