オートプレッシャーコントローラー　UPCシリーズ
エフコン株式会社

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この製品について

圧力センサーを内蔵し、圧力を一定に保ちます。電気信号で任意の圧力が設定可能です。マスフローコントローラーの上流に接続し、極めて安定な流量制御を可能とします。半導体やフラットパネルディスプレイ、ソーラーパネルなど先端技術産業から一般工業まで幅広い分野での圧力制御に使用可能です。

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
オートプレッシャーコントローラー　UPCシリーズ

取扱企業
エフコン株式会社

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オートプレッシャーコントローラー　UPCシリーズ品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	圧力レンジ F.S.13.3kPaabs.(100Torr) F.S.150/300/500kPasbs.	制御圧力範囲	調圧制度(オートゼロ実施後) 1~40％：±0.2％F.S.40~100％：±0.5％S.P. F.S.150kPaabs.[1~40％：±0.2％F.S.、40~100％：±0.5％S.P.]F.S.300/500kPaabs.[1~20％：±0.1％F.S.、20~100％：±0.5％S.P.]	供給圧力範囲 0~200kPaG ~897.3kPaG	耐圧 200kPaG 1MPaG	外部リーク	使用可能温度範囲	供給電源電圧、消費電流	圧力設定/出力信号 0-10VDC/0-10VDC 0-5VDC/0-5VDC	接ガス部材質 SUS316L、Ni-CoAlloy SUS316L、Ni-CoAlloy、FS9	接続継手・寸法 1.5W-Seal(79.8mm)、1/4インチUJR(124mm) 1.5W-Seal(79.8mm)、1/4インチUJR(106、124mm)、1.125W-Seal(92mm)	コントロールバルブCV値 LType：0.0055/MType：0.011/HType：0.03
UPC	要見積もり	F.S.13.3kPaabs.(100Torr)	1~100％	1~40％：±0.2％F.S.40~100％：±0.5％S.P.	0~200kPaG	200kPaG	＜1.0×10-10Pa･m3/sec	0~50℃(制度保証温度範囲：15~35℃)	+15VDC：120mA、-15VDC：120mADeviceNet：+11~25VDC、4.0W	0-10VDC/0-10VDC	SUS316L、Ni-CoAlloy	1.5W-Seal(79.8mm)、1/4インチUJR(124mm)	-
UPCUS	要見積もり	F.S.150/300/500kPasbs.	1~100％	F.S.150kPaabs.[1~40％：±0.2％F.S.、40~100％：±0.5％S.P.]F.S.300/500kPaabs.[1~20％：±0.1％F.S.、20~100％：±0.5％S.P.]	~897.3kPaG	1MPaG	＜1.0×10-10Pa･m3/sec	0~50℃(制度保証温度範囲：15~35℃)	+15VDC：120mA、-15VDC：120mADeviceNet：+11~25VDC、4.0W	0-5VDC/0-5VDC	SUS316L、Ni-CoAlloy、FS9	1.5W-Seal(79.8mm)、1/4インチUJR(106、124mm)、1.125W-Seal(92mm)	LType：0.0055/MType：0.011/HType：0.03
FCST1050 (M) ZF	要見積もり	F.S.150/300/500kPasbs.	1~100％	F.S.150kPaabs.[1~40％：±0.2％F.S.、40~100％：±0.5％S.P.]F.S.300/500kPaabs.[1~20％：±0.1％F.S.、20~100％：±0.5％S.P.]	-	1MPaG	＜1.0×10-10Pa･m3/sec	0~50℃(制度保証温度範囲：15~35℃)	+15VDC：120mA、-15VDC：120mADeviceNet：+11~25VDC、4.0W	0-5VDC/0-5VDC	SUS316L、Ni-CoAlloy、FS9	1.5W-Seal(79.8mm)、1/4インチUJR(106、124mm)、1.125W-Seal(92mm)	LType：0.0055/MType：0.011/HType：0.03