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プラズマクリーナー SPE-2136A取扱企業
三弘エマテック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年9月9日にレビュー済み
顧客対応への満足度
迅速な回答、説明があった。
初回対応までの時間への満足度
27.47時間
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プラズマクリーナの製品6点中、注目ランキング上位5点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置構成 | 排気系 | 到達圧力 | 排気時間 | アッシング分布 | サイクルタイム | 電源系 | ガス導入系 | 制御系 | 外形寸法 (装置本体) | 装置重量 | ユーティリティー (1) | ユーティリティー (2) | ユーティリティー (3) | ユーティリティー (4) | ユーティリティー (5) | ユーティリティー (6) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SPE-2136A |
要見積もり |
(1) 搬送ロボットを搭載した搬送エリアとアッシング室で構成 |
ドライポンプ 1式 |
1Pa以下 |
10Paまで18秒以内 |
±10％以内 |
45秒 (18枚/カセット、φ4インチ基板) |
(1) RF電源 MAX1,000W (13.56MHz) |
O2ガス用マスフローコントローラ 1式 |
(1) シーケンサーの使用により、全自動操作が可能 |
W1,340mm×D1,945mm×H1,870mm |
1,000kg |
電力：200V 3φ 50/60Hz 14.3KVA |
冷却水：20~25℃ 0.36㎥/hr (6ℓ/min) |
圧空：0.5MPa 20ℓ/min |
O2ガス：0.05MPa プロセス用 |
N2ガス：0.3MPa 60ℓ/min |
アース：A種アース |
