フィルタシロキサン・オゾンリムーバ SFXシリーズ
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この製品について

シロキサンの吸着・オゾン分解に特化したリムーバです。99％の高い除去率で圧縮エア・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用が可能になります。

■業種・半導体製造工程 (後工程) 
・実装

■2種類の汚染物質除去活性炭エレメントを採用し、シロキサンもしくはオゾンを除去。

■高圧対応可能圧縮空気・窒素ガスを加圧状態のまま使用可能。

■高い除去率99％以上のシロキサン吸着性能・オゾン分解性能。

■省スペース当社調質機器とモジュール接続が可能で省配管を実現。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
フィルタシロキサン・オゾンリムーバ SFXシリーズ

取扱企業
株式会社畠茂商店

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2025年4月30日にレビュー済み

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フィルタシロキサン・オゾンリムーバ SFXシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用流体	最高使用圧力 MPa	耐圧力 MPa	周囲温度・流体温度 ℃	対象除去物質	除去率 %	濃度範囲	最大処理流量 L/min (ANR)	質量 kg	エレメント交換
	SFX40-8	要見積もり	圧縮空気清浄等級1:6:1 (ISO8573-1:2010) 、窒素ガス	1.0	1.5	5~50	シロキサン (D4、D5) オゾン	シロキサン (D4、D5) ：99以上オゾン：99以上	シロキサン (D4、D5) ：0.005~1,500μg/L オゾン：0.5ppm以下	シロキサン (D4、D5) ：700 オゾン：560	0.8	1年または圧力降下0.1MPa