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真空部品 直線導入機-954-7621
真空部品 直線導入機-キヤノンアネルバ株式会社

真空部品 直線導入機
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、圧力が10-8 Pa以下の超高真空領域まで使用できます。

■特長

・オールメタルなのでハードベークが可能で、超高真空系に最適 ・真空側と大気側とを、ベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機 ・ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中でのリークの心配不要

  • シリーズ

    真空部品 直線導入機

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真空部品 直線導入機 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 名称 駆動方式 接続フランジ 直線運動量 許容最大推力 許容加熱温度 重量 バックラッシュ
真空部品 直線導入機-品番-954-7621

954-7621

要見積もり

直線導入機

ベローズ直進運動

φ70ICF

20mm

196N

300℃

0.6kg

±0.5mm以下

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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