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イオンポンプ ノーブルポンプ-912-7125
イオンポンプ ノーブルポンプ-キヤノンアネルバ株式会社

イオンポンプ ノーブルポンプ
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

イオンポンプ・ノーブルポンプは、磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料 (Ti) をスパッタして、活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行う超高真空ポンプです。

■特長

・完全オイルフリー:油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られる ・超高真空、極超真空:イオンポンプ・ノーブルポンプは10-1 Pa ~ 10-9 Paの圧力範囲で動作しますので極高真空の作成に最適 ・無人運転:運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利 ・不活性ガスの排気 (ノーブルポンプ) :二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が大きくなっています (アルゴンで空気の約21 %)

  • シリーズ

    イオンポンプ ノーブルポンプ

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イオンポンプ ノーブルポンプ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気速度 (N2ガスに対して) 動作範囲 起動可能圧力 内容積 最大加熱温度 吸入口 電流導入端子 素子 (交換用) マグネット 質量
イオンポンプ ノーブルポンプ-品番-912-7125

912-7125

要見積もり

20L/s

10-1~10-9Pa

1.3Pa以下

1.4L

250℃

φ70ICF

交換不可

交換不可

912-7121 (1個) 本体に含む

10.5kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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