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チタンサブリメーションポンプ タイバックポンプ-956-7015
チタンサブリメーションポンプ タイバックポンプ-キヤノンアネルバ株式会社

チタンサブリメーションポンプ タイバックポンプ
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

チタンサブリメーションポンプおよびタイバックポンプは、チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜 (ゲッター面) を作り、金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。

  • シリーズ

    チタンサブリメーションポンプ タイバックポンプ

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チタンサブリメーションポンプ タイバックポンプ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 動作圧力 有効チタン量 フィラメント数 チタン蒸発量 使用フランジ 質量
チタンサブリメーションポンプ タイバックポンプ-品番-956-7015

956-7015

要見積もり

3Pa以下

約1g/1本

3本

平均0.07g/h (1本) 45A通電時

φ70ICFフランジ

約580g

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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