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イオンポンプ ノーブルポンプ用制御装置-P-511 IP
イオンポンプ ノーブルポンプ用制御装置-キヤノンアネルバ株式会社

イオンポンプ ノーブルポンプ用制御装置
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

10-2Pa~10-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又はノーブルポンプを運転する制御装置です。表示は緑色の大型LEDを採用して、離れた位置からの視認性を向上しました。従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を実現しています。 充実したI/O機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に最適です。イオンポンプ用とノ-ブルポンプ用それぞれに、超高真空型と高出力型の2タイプがあり、接続するポンプにより、動作可能圧力範囲と起動可能圧力が変わります。

■特長

・高性能:電流値・電圧値のモニタ時の表示可能最小値の改善、圧力表示の追加、各種保護機能など、高電圧電源に必要な基本機能を高いレベルで実現ハードプロセス対応 ・充実の機能:セットポイント2点標準装備など各種I/O標準装備で外部制御に対応停電自動復帰 (選択可能) ・高互換性:従来機種とリモ-トコネクタ、入力ケーブル、出力ケーブルの互換性を確保 ・通信対応:RS232C (オプション (工場組込対応) ) ・適合規格:CEマーキング、RoHS指令 適合

  • シリーズ

    イオンポンプ ノーブルポンプ用制御装置

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イオンポンプ ノーブルポンプ用制御装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 名称 対応ポンプ 最大出力電圧 最大出力電流 入力電圧 消費電力 外形寸法 質量 使用温度/湿度 使用環境 表示範囲 出力電圧 表示範囲 出力電流 表示範囲 圧力 保護機能 圧力接点 REMOTEモード 対応
イオンポンプ ノーブルポンプ用制御装置-品番-P-511 IP

P-511 IP

要見積もり

イオンポンプ制御装置

全てのイオンポンプ

DC+5.2KV±10%/DC+7.5KV±10%/DC+3.5KV±10%
プログラムモードでの切換式

43mA以上

AC90~250V50/60Hz単相 (マルチ電圧入力)

最大約500VA

W209×H99×D370mm (1/2ラックサイズ)

約6Kg (オプションボード未装着)

0~40℃/85%RH以下 (結露無きこと)

屋内使用/標高2000m以下/汚染度:2/設置カテゴリー:Ⅱ

0.1×103V (0.1KV) ~8.0×103V (8.0KV)

0.1×10-7A (10nA) ~5.0×10-1A (500mA)

1.1×10-9~1.0×10-3Pa
(接続するポンプにより表示範囲が変わります)
1L/s及び8L/sの場合、表示機能無し

各種保護機能有り保護機能動作時は表示部にエラーと番号表示

1μA~99mAの範囲で2点設定可能

前面パネルのREMOTEスイッチにてREMOTE/LOCALの切換が可能

CEマーキング、RoHS

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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