コンポーネント真空バルブ超高真空L型オールメタルバルブ
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

本バルブは10-8 Pa以下まで使用できる、全金属製の超高真空L型バルブです。400 ℃または450 ℃までベークアウトができ、ハードベークを伴う超高真空装置用バルブとして適しています。

■特長・超高真空領域用：10-8 Pa以下の超高真空領域まで使用できる全金属製バルブ
・Capturingシール構造：弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を採用
・優れた許容加熱性：400 ℃または450 ℃までのベークアウトが可能
・容易なガスケット交換

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
コンポーネント真空バルブ超高真空L型オールメタルバルブ

取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社

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コンポーネント真空バルブ超高真空L型オールメタルバルブ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用真空領域	リーク量	全開時コンダクタンス	許容加熱温度	初期封止トルク	最大封止トルク	主要部材質	接続フランジ	質量	適用トルクレンチ (オプション)	添付品
	951-7148	要見積もり	大気圧~10-8Pa以下	6.7×10-11Pa・m3/s以下	4L/s	400℃	約15.7N・m	23.5N・m	ボディ：SUS-304 ベローズ：SUS-304 弁封止用ガスケット：銅合金ボンネットガスケット：SUS-321銀メッキメタル中空“O”リング	φ34ICFフランジ	0.7kg	460F (角ドライブ寸法□9.53mm) (JISB4650プレート形呼び450相当)	ガスケット取外し治具：1S ハンドル：1個呼び2.5六角棒スパナ：1本呼び4六角棒スパナ：1本ワイヤブラシ：1個予備ワッシャ：大、小各1個計2個予備ガスケット：1個