コンポーネント超高真空L型ポリイミドバルブ
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

本バルブは、10-8 Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少いポリイミド樹脂を使用しております。150 ℃以上のベーキングを伴なう超高真空装置用バルブとして適しています。

■特長・すぐれた許容加熱性：ポリイミド・シールは開閉いずれの場合でも室温から最高300 ℃までの繰り返しベーキングに対応
・ガス放出の少いシール材：ポリイミド樹脂のガス放出は、ふっ素ゴム (バイトン) と比較すると少いので10-8 Pa程度の超高真空を容易に達成
・小さな締付けトルク：ポリイミド・シールの締付けトルクはメタルシールほど大きなトルクは不要

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
コンポーネント超高真空L型ポリイミドバルブ

取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社

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コンポーネント超高真空L型ポリイミドバルブ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用真空領域	許容加熱温度	シール材 (ガスケット)	推奨締付シール力 (参考締付トルク)	最大締付シール力 (参考締付トルク)	操作	コンダクタンス	リーク量	使用材料	接続フランジ	質量
	951-7145	要見積もり	大気圧~10-8Pa程度	300℃	ポリイミド樹脂	1,225~1,921N (2~3.4N・m)	2,626N (5.9N・m)	手動	1L/s	6.7×10-11Pa・m3/s以下	本体：SUS-304 ベローズ：SUS-304L ハンドル：AL合金 (黒色アルマイト)	φ34ICFフランジ	0.41kg