コンポーネント真空バルブ Vシリーズ粗引きバルブ V-025RV-V-025RV-CN

コンポーネント真空バルブ Vシリーズ粗引きバルブ V-025RV
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

本バルブは、10-4 Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム (バイトン) Oリングを使用したバルブです。高真空装置用バルブとして、また超高真空装置のあら引きバルブとして最適です。

■特長・高真空領域まで使用可能：10-4 Pa程度の高真空領域までご使用可能 (軸シール部のみ、ふっ素グリースを使用) 
・開閉ポジションセンサスイッチ：圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用のポジションセンサスイッチを装備

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この商品には1種類の型番があります

シリーズ
コンポーネント真空バルブ Vシリーズ粗引きバルブ V-025RV

取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社

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コンポーネント真空バルブ Vシリーズ粗引きバルブ V-025RV 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	駆動方式	使用圧力領域	Heリーク量静止時	Heリーク量開閉時	コンダクタンス	許容加熱温度	主要部材質駆動部	主要部材質真空シール材	作動エアー圧	エアー消費量 (L/サイクル)	エアー供給口	使用流体	質量	接続フランジ
	V-025RV-CN	要見積もり	圧空	大気圧~10-4Pa程度	6.7×10-11Pa･m3/s以下	~10-5Pa･m3/s	7L/s	60℃	AL合金 (エアーシリンダ)	ふっ素ゴム (バイトン) Oリング (メインシール部,軸シール部,ボンネットシール部) 軸シール部潤滑剤：パーフロロポリエーテルグリース	0.4~0.6MPa	0.024	M5	大気またはガス (腐食性ガスを除く)	0.63kg	NW25フランジ