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コンポーネント Vシリーズ L型バルブ V-040LV V-065LV V-100LV-V-040LV V-065LV V-100LV
コンポーネント Vシリーズ L型バルブ V-040LV V-065LV V-100LV-キヤノンアネルバ株式会社

コンポーネント Vシリーズ L型バルブ V-040LV V-065LV V-100LV
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

本バルブは、長寿命化とメンテナンス性向上を図ったL型バルブです。バルブに内蔵しているベローズは、材質にハステロイ合金を採用することで長寿命化 (当社比※1) を図りました。また、MSBシリーズはボンネット部にメタル中空Oリングを使用しているため、大気からのガス透過が無くガス分析真空装置などに最適です。バルブの種類は手動,圧空駆動ともサイズ及び接続フランジの種類が豊富に揃っています。

■特長

・超高真空領域まで使用可能:STDシリーズ※2は10-7Pa程度※3、MSBシリーズ※4は10-8Pa程度※3の超高真空領域までご使用可能 ・長寿命バルブ:内蔵されているベローズは成形ベローズです。材質はコスト及び寿命※5を考慮しハステロイ合金を使用 ・開閉ポジションセンサスイッチ:標準でバルブに使用しているエアーシリンダには全て、開閉用のポジションセンサスイッチ (磁気センサー) を装備 ・優れた許容加熱性:圧空駆動式バルブのエアーシリンダ耐熱120℃の高温仕様となっています。そのため、バルブ開時のバルブボディ部加熱温度はSTDシリーズで150℃,MSBシリーズで200℃までベークアウトが可能 (但し、エアシリンダは120℃、センサスイッチは60℃を超えないようにご注意願います。)

  • シリーズ

    コンポーネント Vシリーズ L型バルブ V-040LV V-065LV V-100LV

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コンポーネント Vシリーズ L型バルブ V-040LV V-065LV V-100LV 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用圧力領域 Heリーク量 弁座部 Heリーク量 外部 許容加熱温度 バルブ開時 許容加熱温度 バルブ閉時 主要部材質 バルブボディ 主要部材質 ベローズ 主要部材質 駆動部 主要部材質 真空シール材 作動エアー圧 エアー消費量 (L/サイクル) エアー供給口 使用流体
コンポーネント Vシリーズ L型バルブ V-040LV V-065LV V-100LV-品番-V-040LV V-065LV V-100LV

V-040LV V-065LV V-100LV

要見積もり

大気圧~10-7 Pa程度

6.7×10-11 Pa・m3/sec以下

6.7×10-11 Pa・m3/sec以下

150 ℃

125 ℃

SUS-304

ハステロイC-22

エアーシリンダ (圧空駆動式バルブ) :アルミ合金、ふっ素ゴムなど
ハンドル (手動バルブ) :アルミ合金

ふっ素ゴムOリング

0.4 ~ 0.6 MPa

0.12

Rc1/8

大気またはガス (腐食性ガスを除く)

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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