コンポーネント真空バルブ超高真空バリアブルリークバルブ-超高真空バリアブルリークバルブ

コンポーネント真空バルブ超高真空バリアブルリークバルブ
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

本バリアブルリークバルブは、導入ガス流量の調節を必要とする真空装置に使用するもので、調節可能最少リーク量が6.7×10-9 Pa・m3/s以下ときわめて微少流量領域からのガス導入が可能です。また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、超高真空装置用に適しています。

■特長・熱と外部衝撃に強いシール部：シール部はWC系超硬合金と銅合金を組み合わせてシールしておりますのでサファイアと銅合金を組み合わせてシールするのと異なり、熱的・機械的影響から生じる割れはありません
・微少ガス流量を安定調節：調節可能最少リーク量が6.7×10-9 Pa・m3/s以下 (Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2 MPa時) と、きわめて微少ガス流量の導入が可能
・優れた許容加熱性：全金属製で450 ℃までのベーキングが可能
・広範囲ガス流量の調節が可能
・超高真空接続可能

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
コンポーネント真空バルブ超高真空バリアブルリークバルブ

取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社

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コンポーネント真空バルブ超高真空バリアブルリークバルブ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用真空領域	調節可能最少リーク量	バルブ全閉時リーク量	許容加熱温度	ガスケットの寿命	構成部品材料	接続フランジガスOUTLET側	接続フランジガスINLET側	添付品	質量
	超高真空バリアブルリークバルブ	要見積もり	大気圧~10-8Pa程度	6.7×10-9Pa・m3/s以下	6.7×10-11Pa・m3/s以下	450℃ (開閉いずれも可)	約300回シール (室温使用時) 約30回シール (ベーキングを伴う場合) (ガスケット交換可能)	本体：SUS-304 シール部：WC系超硬合金ガスケット：Cu合金	φ70ICF固定フランジ	φ8×φ6SUS-304管 (951-7170) φ34ICF固定フランジ付 (951-7172)	951-9160ガスケット2個 951-9160リング2個 951-9160スパナ1本呼び5六角棒スパナ1本呼び8六角棒スパナ1本	1.3kg