コンポーネント真空バルブインレットバルブ
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

真空装置内に特定ガスを導入するためのリークバルブで、軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、真空シールはふっ素ゴム (バイトン) を使用しています。高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして適しています。

■特長・超高真空領域用：10-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能
・大気混入なし：軸シールにベローズを使用していますので、ガス導入時大気の混入する心配がありません
・優れた許容加熱性：150℃までのベークアウトが可能

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
コンポーネント真空バルブインレットバルブ

取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社

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コンポーネント真空バルブインレットバルブ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用真空領域	バルブ全閉時リーク量	オリフィス径	許容加熱温度	主要部材質	接続フランジ	質量
	951-7179、951-7180	要見積もり	大気圧~10-7Pa程度	6.7×10-11Pa・m3/s以下	φ8.5mm	バルブ開時150℃、バルブ閉時125℃	真空シール材：ふっ素ゴム (バイトン) ※3 バルブボディ：SUS304 ベローズ：SUS304 Lハンドル：フェノール樹脂接続フランジφ70ICF、NW25フランジ	φ70ICF、NW25フランジ	0.5kg