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コンポーネント 真空バルブ リークバルブ-951-7177、951-7178
コンポーネント 真空バルブ リークバルブ-キヤノンアネルバ株式会社

コンポーネント 真空バルブ リークバルブ
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

真空装置内に大気または特定ガスを導入するためのリークバルブで、真空シールおよび軸シールにはふっ素ゴム (バイトン) を使用しています。 (951-7177・7178) 真空シールにはふっ素ゴム (バイトン) “O”リングを使用しています。 (951-7190・7192) 高真空、超高真空装置をリークさせる際の大気または特定ガス導入用バルブとして適しています。

■特長

・超高真空領域用:10-7 Pa程度の超高真空領域まで使用可能 ・優れた許容加熱性:125 ℃までのベークアウト可能 ・特定ガス導入可能 (“O”リングシールタイプは除く)

  • シリーズ

    コンポーネント 真空バルブ リークバルブ

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コンポーネント 真空バルブ リークバルブ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用真空領域 バルブ全閉時リーク量 オリフィス径 許容加熱温度 接続フランジ 質量
コンポーネント 真空バルブ リークバルブ-品番-951-7177、951-7178

951-7177、951-7178

要見積もり

大気圧~10-7Pa程度

6.7×10-11Pa・m3/s以下※1

φ3.5mm

125℃

φ70ICF、NW25フランジ

0.4kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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