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コンポーネント 真空バルブ アイソレイトバルブ V-025SV-V-025SV-1AC
コンポーネント 真空バルブ アイソレイトバルブ V-025SV-キヤノンアネルバ株式会社

コンポーネント 真空バルブ アイソレイトバルブ V-025SV
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

V-025SV アイソレイトバルブは主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。本バルブはカットバルブとベントバルブの機能を備えた自動バルブで、停電や誤操作などによるポンプ油の逆流防止に役立ちます。 特長

■ポンプ油の逆流防止

油回転真空ポンプが停止後、自動で被排気系側をカットオフ (真空封止) し、その後、油回転真空ポンプ側を大気ベントします。被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流が防止できます。

■圧縮空気およびその配管は不要

駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用します。従来の自動バルブのような圧縮空気およびそのための配管は不要です。 (ポンプが動作していない状態ではバルブは開きません。)

■制御回路不要

バルブの操作は付属の電磁弁への電力供給を油回転真空ポンプの電動機と連動させて行うだけです。特別な制御回路は必要ありません。

  • シリーズ

    コンポーネント 真空バルブ アイソレイトバルブ V-025SV

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コンポーネント 真空バルブ アイソレイトバルブ V-025SV 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用圧力領域 リーク量 コンダクタンス メンテナンスタイム 接続フランジ 使用流体 使用環境 電磁弁仕様 定格電圧 電磁弁仕様 起動電流 電磁弁仕様 保持電流 電磁弁仕様 消費電力 電磁弁仕様 コイル絶縁 質量
コンポーネント 真空バルブ アイソレイトバルブ V-025SV-品番-V-025SV-1AC

V-025SV-1AC

要見積もり

大気圧~10-2Pa程度

<5x10-7Pa・m3/s

420L/min (20℃空気に対する分子流領域での値)

30,000サイクルまたは1年

NW25フランジ

大気またはガス (腐食性ガスを除く)

周囲温度10℃~40℃

AC100±10% (50/60Hz)

0.03A

0.03A

3W

B種

1kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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