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水封式真空ポンプ LEHLEM型
アトーテック株式会社

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この製品について

■真空度 (圧力) が悪くても使用できる水封式真空ポンプの選定

比較的圧力が高く、水蒸気や水滴を含んだ気体・引火性ガスや腐食性ガスの排気が可能なポンプとして水封式真空ポンプがあります。到達圧力は、5.3×103Pa (40Torr) ～8.2×102 (6Torr) (空気ゼクター付) があります。

■アトーテック株式会社『水封式真空ポンプLEHLEM型』の特徴

・水蒸気や水滴をふくんだ気体の排気に最適である ・引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる ・摩擦部分が少なく故障がないので、連続運転に耐えられる ・低騒音でかつ振動が少ない ・連続排気で脈動がない

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    水封式真空ポンプ LEHLEM型

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アトーテック株式会社は、1989年に設立された真空装置メーカーです。 一般社団法人日本真空学会に加盟し、半導体製造などに用いられる容器の内部から気体を排出させて、容器内を真空状態にする真空ポンプや、半導体製造や医薬品の...

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