スリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニット スリットユニット SMSシリーズ-SMS-20-0
スリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニット スリットユニット SMSシリーズ-株式会社フィジックステクノロジー

スリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニット スリットユニット SMSシリーズ
株式会社フィジックステクノロジー



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この製品について

SmarAct社では、駆動モータとしてStick-Slipドライブの小型性を活かし、ミラーマウントやスリットユニットなど、様々な小型オプトメカニクスをご用意しております。ピエゾステージと組み合わせて光学アライメントに最適です。特に真空環境での光学アライメントには、狭いスペースでのご利用や自動化・リモート制御など幅広いニーズにご利用いただけます。

■SMSシリーズ

スリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニットです。フィードバックセンサを内蔵することも可能ですので、スリット位置を正確に制御することができます。SMSシリーズには、1方向スリットと2方向スリットの2種類をご用意しております。

  • シリーズ

    スリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニット スリットユニット SMSシリーズ

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スリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニット スリットユニット SMSシリーズ 品番1件

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