スリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニットスリットユニット SMSシリーズ-SMS-20-0

スリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニットスリットユニット SMSシリーズ
株式会社フィジックステクノロジー

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この製品について

SmarAct社では、駆動モータとしてStick-Slipドライブの小型性を活かし、ミラーマウントやスリットユニットなど、様々な小型オプトメカニクスをご用意しております。ピエゾステージと組み合わせて光学アライメントに最適です。特に真空環境での光学アライメントには、狭いスペースでのご利用や自動化・リモート制御など幅広いニーズにご利用いただけます。

■SMSシリーズスリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニットです。フィードバックセンサを内蔵することも可能ですので、スリット位置を正確に制御することができます。SMSシリーズには、1方向スリットと2方向スリットの2種類をご用意しております。