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ピエゾで駆動できる電動アイリス SIDシリーズ-SID-7
ピエゾで駆動できる電動アイリス SIDシリーズ-株式会社フィジックステクノロジー

ピエゾで駆動できる電動アイリス SIDシリーズ
株式会社フィジックステクノロジー

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この製品について

SmarAct社では、駆動モータとしてStick-Slipドライブの小型性を活かし、ミラーマウントやスリットユニットなど、様々な小型オプトメカニクスをご用意しております。ピエゾステージと組み合わせて光学アライメントに最適です。特に真空環境での光学アライメントには、狭いスペースでのご利用や自動化・リモート制御など幅広いニーズにご利用いただけます。

■アイリスSIDシリーズ

SIDシリーズは、ピエゾで駆動できる電動アイリスです。異なる開口径をラインアップにご用意しております。

  • シリーズ

    ピエゾで駆動できる電動アイリス SIDシリーズ

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ピエゾで駆動できる電動アイリス SIDシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) アパチャーサイズ 外形 重量 分解能 (Closed loop時) 開口速度
ピエゾで駆動できる電動アイリス SIDシリーズ-品番-SID-7

SID-7

要見積もり

0.5~7mm

60x13x55mm

100g

1μm

4mm/s

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ピエゾステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測

ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県
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