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コンポーネント リニアイオンソース LIS700-LIS700
コンポーネント リニアイオンソース LIS700-新明和工業株式会社

コンポーネント リニアイオンソース LIS700
新明和工業株式会社

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■リニアイオンソース (LIS) とは

イオンエッチング装置に搭載している丸型イオンソースを改良し、大面積に照射できるように長尺化しました。幅広フィルム製造の前処理や大型ワークのエッチングが可能になります。

■メリット

従来のLISの構造は、中央部に強力な永久磁石を配置し、磁場を形成する方式でした。メンテナンスにより部品脱着をする際には、強力な永久磁石により部品脱着が困難でメンテナンスの不安がありましたが、独自の電磁コイル方式にすることにより、OFF状態では磁場が発生しないため、部品の脱着が容易になるとともに、磁気吸着によるコンタミを抑制します。これにより長時間運転も可能になりメンテナンス性も向上します。

■提案内容

LISと専用の高電圧電源のコンポーネント販売およびLIS搭載の大型装置の提案も可能です。サイズラインアップも拡充中です。

  • シリーズ

    コンポーネント リニアイオンソース LIS700

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コンポーネント リニアイオンソース LIS700 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ビーム長さLb (mm) ビーム幅Wb (mm) 最大印加電圧 最大電流 サイズ (mm) 質量 (kg) 冷却水 適用ガス (使用量は真空炉容積による) イオンソース用高電圧電源 電磁コイル用電源
コンポーネント リニアイオンソース LIS700-品番-LIS700

LIS700

要見積もり

700

37

~4kV

300~400mA (ガス種、条件による)

830×200×164

35kg

3L/min

Ar/O2

入力:単相AC200V-240V 50/60Hz
出力:最大DC4kV 最大500mA

入力:単相AC100V 50/60Hz
出力:最大80V 最大14A (360W)

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

新明和工業株式会社は、航空機・特装車など輸送用機器の製造メーカーです。 1920年に川西機械製作所の飛行機部としてスタートし、1949年に株式会社明和工務店を設立、生活用品や特装車製造を開始しました。航空機、産業機械、...

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  • 本社所在地: 兵庫県
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