コンポーネントリニアイオンソース LIS400
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この製品について

■リニアイオンソース (LIS) とはイオンエッチング装置に搭載している丸型イオンソースを改良し、大面積に照射できるように長尺化しました。幅広フィルム製造の前処理や大型ワークのエッチングが可能になります。

■メリット従来のLISの構造は、中央部に強力な永久磁石を配置し、磁場を形成する方式でした。メンテナンスにより部品脱着をする際には、強力な永久磁石により部品脱着が困難でメンテナンスの不安がありましたが、独自の電磁コイル方式にすることにより、OFF状態では磁場が発生しないため、部品の脱着が容易になるとともに、磁気吸着によるコンタミを抑制します。これにより長時間運転も可能になりメンテナンス性も向上します。

■提案内容LISと専用の高電圧電源のコンポーネント販売およびLIS搭載の大型装置の提案も可能です。サイズラインアップも拡充中です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
コンポーネントリニアイオンソース LIS400

取扱企業
新明和工業株式会社

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コンポーネントリニアイオンソース LIS400 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ビーム長さLb (mm)	ビーム幅Wb (mm)	最大印加電圧	最大電流	サイズ (mm)	質量 (kg)	冷却水	適用ガス (使用量は真空炉容積による)	イオンソース用高電圧電源	電磁コイル用電源
	LIS400	要見積もり	400	37	~4kV	300~400mA (ガス種、条件による)	500×160×143	22kg	3L/min	Ar/O2	入力：単相AC200V-240V　50/60Hz 出力：最大DC4kV　最大500mA	入力：単相AC100V　50/60Hz 出力：最大80V　最大14A (360W)