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シリーズ
コンポーネント リニアイオンソース LIS400取扱企業
新明和工業株式会社| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ビーム長さLb (mm) | ビーム幅Wb (mm) | 最大印加電圧 | 最大電流 | サイズ (mm) | 質量 (kg) | 冷却水 | 適用ガス (使用量は真空炉容積による) | イオンソース用高電圧電源 | 電磁コイル用電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
LIS400 |
要見積もり |
400 |
37 |
~4kV |
300~400mA (ガス種、条件による) |
500×160×143 |
22kg |
3L/min |
Ar/O2 |
入力：単相AC200V-240V 50/60Hz |
入力：単相AC100V 50/60Hz |
