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複合材料 AC-Alox-AC-Alox
複合材料 AC-Alox-アドバンスコンポジット株式会社


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この製品について

■概要

・アルミニウム/アルミナの複合材 ・アルミニウム並みの軽さで、鋳鉄以上のヤング率 ・優れた振動減衰性

■特徴

・真空環境下 (中真空10⁻¹Pa以下) で採用実績あり ・半導体製造装置クリーニングフッ素ガス耐性あり ・切削加工が可能 ・表面処理が容易 (無電解Niめっき等)

■用途

・FPD製造装置用リフターピン  採用理由:ガラスを傷つけない、耐フッ素ガス ・半導体計測装置用可動ステージ  採用理由:軽量高剛性、優れた振動減衰性

  • シリーズ

    複合材料 AC-Alox

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