マスフローコントローラー-MCS/MCRSシリーズ (腐食性ガス／冷媒ガス対応)

マスフローコントローラー-MCE/MCESシリーズ (SEMI規格：半導体装置向け高精度マスフローコントローラー)

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マスフローコントローラー
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この製品について

特長
■安定した納期を実現ALICATはアメリカのアリゾナに自社工場を構え、長年培った経験と知識により発展してまいりました。様々な用途に対応した機種の開発を行っており、多様なニーズに対応できます。近年では大幅な人員増強・生産設備の増加を行い、安定供給が可能となりました。

■さまざまな用途に対応標準タイプのMC/MCRシリーズを筆頭にさまざまな環境に対応したマスフローコントローラーがラインナップ。

■多種多様なガスが計測可能標準タイプは混合ガスを含め98種類のガスに対応します。また腐食性ガス／冷媒ガス対応タイプは標準のガス種を加え128種類のガスに対応します。

■100ミリ秒の速い制御応答・ラミナーフロー方式 (差圧式) により高速応答を実現。
・流量変化にすばやく追従し、リアルタイムに流量の確認ができます。

■200:1の幅広い流量レンジ ※MCS/MCRS/MCVSシリーズは100:1・超微少流量の 0.5SCCM から大流量の 5000SLPM までラインナップ。 (※MC/MCR/MS/MCRS/MCD/MCRDシリーズ) 

■マスフロー (質量流量) の他、圧力、温度も計測・表示画面にはマスフローに加え、体積流量、圧力、温度も表示します。
・また各データの表示単位も変更が可能です。その単位に換算した値が表示されます。

■バックライト付きモノクロ液晶表示器を標準搭載バックライト付きのモノクロ液晶を標準搭載。バックライトはボタン操作で簡単にON/OFFが行えます。

■アナログ出力／RS-232C通信を標準搭載・標準で0-5VDC出力を搭載。マスフローをアナログ出力します。
・出力データはマスフローの他、体積流量、圧力、温度も可能。また、0-10VDC、1-5VDC、4-20mA出力もご指定できます。
・RS-232C通信ではマスフロー、体積流量、圧力、温度、ガス種を出力します。

■積算流量が可能・積算流量オプションをつけることにより積算流量表示が可能です。
・電源投入後およびリセット後から流量の積算を開始します。

■配管接続口径はNPT規格のめねじとなります。

■校正校正はメーカーにて行います。通常20℃ 1atmで校正を行いますが、0℃ 1atmでの校正もご指定いただけます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
マスフローコントローラー

取扱企業
日本スターテクノ株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

フローメーター

コントローラ・制御装置

マスフローコントローラ

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マスフローコントローラー品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	寸法 (流量レンジ 0.5SCCM) H98.98mm x W84.79mm x D26.67mm H111.68mm x W84.79mm x D26.67mm	接続口径 (流量レンジ 0.5SCCM) M5 (10-32) めねじ	F.S.流量時の圧力損失 6.89kPa (D) 0.483kPa (D)
MC/MCRシリーズ (標準タイプ)	要見積もり	H98.98mm x W84.79mm x D26.67mm	M5 (10-32) めねじ	6.89kPa (D)
MCS/MCRSシリーズ (腐食性ガス／冷媒ガス対応)	要見積もり	H111.68mm x W84.79mm x D26.67mm	M5 (10-32) めねじ	6.89kPa (D)
MCW/MCRWシリーズ (低圧力損失タイプ)	要見積もり	H98.98mm x W84.79mm x D26.67mm	M5 (10-32) めねじ	0.483kPa (D)
MCQ/MCRQシリーズ (高圧タイプ)	要見積もり	-	-	-
MCE/MCESシリーズ (SEMI規格：半導体装置向け高精度マスフローコントローラー)	要見積もり	-	-	-
MCV/MCVSシリーズ (シャットオフバルブ搭載)	要見積もり	-	-	-
BASISシリーズ (OEM供給用小型ローコストマスフローコントローラー)	要見積もり	-	-	-
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MCD/MCRDシリーズ (デュアルバルブ)	要見積もり	-	-	-