HIPIMSにも対応長寿命で高効率の矩形、円形、カソード
有限会社フォーユー

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この製品について

ご要求に応じる仕様。直接のバックプレート・ターゲットの冷却。

■仕様と特徴・直接のターゲット冷却は、最大のパワー密度を可能とします
・ターゲット密に接した冷却は、高低のパワーに関わらず、最大の効果を得る事が出来ます
・独自の冷却水の経路により、マグネトロン全体を、常時、一定温度で冷却出来ます
・内部・外部での取付け可能
・KF、ISO、CF接続が可能
・5 x 10-4 mbr以下で使用可能
・独自の磁極配置で、UMBS配列にも対応
・ターゲットに負担を掛けない冷却構造で、ターゲットの変形を防ぎます
・ターゲット材料、電源パワー、ターゲット－基板距離、真空度のシュミレーションに基づくカソードの製造

■驚異的なターゲットの使用効率を実現・独自の複数マグネット配列
・各種の金属ターゲットに対応 Cr, Cu, Ti, Al 他
・高パワーでのスパッタに対応
・使用効率 ＞40%