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HIPIMSにも対応 長寿命で高効率の矩形、円形、カソード-矩形、円形、カソード
HIPIMSにも対応 長寿命で高効率の矩形、円形、カソード-有限会社フォーユー

HIPIMSにも対応 長寿命で高効率の矩形、円形、カソード
有限会社フォーユー

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この製品について

ご要求に応じる仕様。直接のバックプレート・ターゲットの冷却。

■仕様と特徴

・直接のターゲット冷却は、最大のパワー密度を可能とします ・ターゲット密に接した冷却は、高低のパワーに関わらず、最大の効果を得る事が出来ます ・独自の冷却水の経路により、マグネトロン全体を、常時、一定温度で冷却出来ます ・内部・外部での取付け可能 ・KF、ISO、CF接続が可能 ・5 x 10-4 mbr以下で使用可能 ・独自の磁極配置で、UMBS配列にも対応 ・ターゲットに負担を掛けない冷却構造で、ターゲットの変形を防ぎます ・ターゲット材料、電源パワー、ターゲット－基板距離、真空度のシュミレーションに基づくカソードの製造

■驚異的なターゲットの使用効率を実現

・独自の複数マグネット配列 ・各種の金属ターゲットに対応 Cr, Cu, Ti, Al 他 ・高パワーでのスパッタに対応 ・使用効率 ＞40%

  • シリーズ

    HIPIMSにも対応 長寿命で高効率の矩形、円形、カソード

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HIPIMSにも対応 長寿命で高効率の矩形、円形、カソード 品番1件

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矩形、円形、カソード

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