HIPIMSにも対応 長寿命で高効率の矩形、円形、カソード
有限会社フォーユー
この製品について
ご要求に応じる仕様。直接のバックプレート・ターゲットの冷却。
■仕様と特徴
・直接のターゲット冷却は、最大のパワー密度を可能とします ・ターゲット密に接した冷却は、高低のパワーに関わらず、最大の効果を得る事が出来ます ・独自の冷却水の経路により、マグネトロン全体を、常時、一定温度で冷却出来ます ・内部・外部での取付け可能 ・KF、ISO、CF接続が可能 ・5 x 10-4 mbr以下で使用可能 ・独自の磁極配置で、UMBS配列にも対応 ・ターゲットに負担を掛けない冷却構造で、ターゲットの変形を防ぎます ・ターゲット材料、電源パワー、ターゲット－基板距離、真空度のシュミレーションに基づくカソードの製造■驚異的なターゲットの使用効率を実現
・独自の複数マグネット配列 ・各種の金属ターゲットに対応 Cr, Cu, Ti, Al 他 ・高パワーでのスパッタに対応 ・使用効率 ＞40%-
シリーズ
HIPIMSにも対応 長寿命で高効率の矩形、円形、カソード
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取扱企業
有限会社フォーユー
HIPIMSにも対応 長寿命で高効率の矩形、円形、カソード 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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矩形、円形、カソード |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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- 本社所在地: 埼玉県