プラズマ発光リアルモニタ EMICON SAシリーズ
有限会社フォーユー

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要・PC内臓
・LAN,Profibus,Digital

EMICONの使用用途
■トラブルシューティング指定した波長ピークの経時変化をモニタし、プロセス状態を把握出来ます。正常プロセス時の発光状態を記録しておけば、異常が起きた発光状態との比較により、短時間で異常原因が判ります。

■プロセス開発ガス流量、パワーを増やすと発光強度は増えます。又、複数のガスを同時に注入したら、パワーや流量の条件が同じでも、各々の単独のガス注入に比べ発光強度は変化します。そこで、条件が変わった場合の基準計として、発光強度モニタを使用出来ます。

■リアクティブスパッタ成膜制御・1.4nm高分解能分光器
・200-1,100nm広領域モニタ
・ノイズ成分除去波長での制御
・レシピ変更だけで、別の種類のターゲツトプロセスに簡単に、数秒で切り替えられます

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
プラズマ発光リアルモニタ EMICON SAシリーズ

取扱企業
有限会社フォーユー

この商品に関する問題を報告する

40人以上が見ています

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

プラズマ発光リアルモニタ EMICON SAシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	チャンネル数	波長レンジ (nm)	分解能	アナログ inputs	アナログ outputs	デジタル in/outputs	Processor unit	画面	電源
	SAシリーズ	要見積もり	1 - 8	200 - 1,100	1.4nmFWHM	2 (4,8) x0-10volts (iCoupler)	4 (8) x0-10volts (iCoupler)	8 (16) xTTL/24V (Opto-Coupler)	Integrated MPU	5.7インチ　タッチパネル	5VDC 4A