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プラズマ発光リアルモニタ EMICON SAシリーズ-SAシリーズ
プラズマ発光リアルモニタ EMICON SAシリーズ-有限会社フォーユー

プラズマ発光リアルモニタ EMICON SAシリーズ
有限会社フォーユー

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この製品について

■概要

・PC内臓 ・LAN,Profibus,Digital EMICONの使用用途

■トラブルシューティング

指定した波長ピークの経時変化をモニタし、プロセス状態を把握出来ます。正常プロセス時の発光状態を記録しておけば、異常が起きた発光状態との比較により、短時間で異常原因が判ります。

■プロセス開発

ガス流量、パワーを増やすと発光強度は増えます。又、複数のガスを同時に注入したら、パワーや流量の条件が同じでも、各々の単独のガス注入に比べ発光強度は変化します。そこで、条件が変わった場合の基準計として、発光強度モニタを使用出来ます。

■リアクティブスパッタ成膜制御

・1.4nm高分解能分光器 ・200-1,100nm広領域モニタ ・ノイズ成分除去波長での制御 ・レシピ変更だけで、別の種類のターゲツトプロセスに簡単に、数秒で切り替えられます

  • シリーズ

    プラズマ発光リアルモニタ EMICON SAシリーズ

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プラズマ発光リアルモニタ EMICON SAシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) チャンネル数 波長レンジ (nm) 分解能 アナログ inputs アナログ outputs デジタル in/outputs Processor unit 画面 電源
プラズマ発光リアルモニタ EMICON SAシリーズ-品番-SAシリーズ

SAシリーズ

要見積もり

1 - 8

200 - 1,100

1.4nmFWHM

2 (4,8) x0-10volts (iCoupler)

4 (8) x0-10volts (iCoupler)

8 (16) xTTL/24V (Opto-Coupler)

Integrated MPU

5.7インチ タッチパネル

5VDC 4A

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  • 本社所在地: 埼玉県
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