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プラズマ発光リアルモニタ EMICON HRシリーズ-HRシリーズ
プラズマ発光リアルモニタ EMICON HRシリーズ-有限会社フォーユー

プラズマ発光リアルモニタ EMICON HRシリーズ
有限会社フォーユー

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この製品について

EMICONの使用用途

■トラブルシューティング

指定した波長ピークの経時変化をモニタし、プロセス状態を把握出来ます。正常プロセス時の発光状態を記録しておけば、異常が起きた発光状態との比較により、短時間で異常原因が判ります。

■プロセス開発

ガス流量、パワーを増やすと発光強度は増えます。又、複数のガスを同時に注入したら、パワーや流量の条件が同じでも、各々の単独のガス注入に比べ発光強度は変化します。そこで、条件が変わった場合の基準計として、発光強度モニタを使用出来ます。

■リアクティブスパッタ成膜制御

・1.4nm高分解能分光器 ・200-1,100nm広領域モニタ ・ノイズ成分除去波長での制御 ・レシピ変更だけで、別の種類のターゲツトプロセスに簡単に、数秒で切り替えられます

  • シリーズ

    プラズマ発光リアルモニタ EMICON HRシリーズ

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プラズマ発光リアルモニタ EMICON HRシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) チャンネル数 波長レンジ (nm) 分解能 (nm) 信号分解能 デジタルin/out アナログ in/out PC接続 電源
プラズマ発光リアルモニタ EMICON HRシリーズ-品番-HRシリーズ

HRシリーズ

要見積もり

1

200 - 860

0.15FWHM

16 Bit

2/2 BNC

4 BNC

USB 2.0

AC 100V

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