プラズマ発光リアルモニタ EMICON MCシリーズ
有限会社フォーユー
この製品について
EMICONの使用用途
■トラブルシューティング
指定した波長ピークの経時変化をモニタし、プロセス状態を把握出来ます。正常プロセス時の発光状態を記録しておけば、異常が起きた発光状態との比較により、短時間で異常原因が判ります。■プロセス開発
ガス流量、パワーを増やすと発光強度は増えます。又、複数のガスを同時に注入したら、パワーや流量の条件が同じでも、各々の単独のガス注入に比べ発光強度は変化します。そこで、条件が変わった場合の基準計として、発光強度モニタを使用出来ます。■リアクティブスパッタ成膜制御
・1.4nm高分解能分光器 ・200-1,100nm広領域モニタ ・ノイズ成分除去波長での制御 ・レシピ変更だけで、別の種類のターゲツトプロセスに簡単に、数秒で切り替えられます-
シリーズ
プラズマ発光リアルモニタ EMICON MCシリーズ
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取扱企業
有限会社フォーユー
プラズマ発光リアルモニタ EMICON MCシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | チャンネル数 | 波長レンジ (nm) | 分解能 (nm) | 信号分解能 | デジタルin/out | アナログ in/out | PC接続 | 電源 |
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MCシリーズ |
要見積もり | 1-8 | 200 - 1,100 | 1.4FWHM | 16 Bit | 4/4 BNC | 8 BNC | USB 2.0 | AC 100V |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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- 本社所在地: 埼玉県
