高純度円筒 Cu (銅) スパッタリングターゲット-Cu (銅) スパッタリングターゲット

高純度円筒 Cu (銅) スパッタリングターゲット
XQ Instruments

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この製品について

■特徴・直径163mm (註1) までの円筒型Cu (銅) ターゲットをモノリシック (押出成形) で製造します。153mm直径 (註2) のモノリシックCuに比べ、約1.55倍の体積のCu (銅) を連続放電可能となります。
・純度99.95％を超える高純度Cu (銅) をご提供可能です。
・日本の大手ターゲットメーカーにOEMで提供しております。
・中国製である為、米国、ヨーロッパ、日本製Cuに比べ、優位性のある価格でご提供可能です。
註1：ターゲットエリア厚み換算15mmとなります。 (BT径133mm時) 
註2：ターゲットエリア厚み換算10mmとなります。 (BT径133mm時) 