AUTOMATIC MATCHING BOX for RF Power Supply (マッチングボックス) ATL-100RA
XQ Instruments
この製品について
このユニットは、自動的に、最適なインピーダンスに整合します。例えば、プラズマエッチング、リアクティブエッチング (R.I.E) 、プラズマCVD、半導体部品製造、あるいはその他のRFプラズマを用いたプロセスで、最適なインピーダンスに調整します。
高速で、高精度なインピーダンス整合を可能とします。プラズマプロセス中に、広範囲なリアクティブインピーダンスへ変換します。このネットワークは、負荷を制御する可変キャパシター (バリコン) と、チューニングを制御する可変インダクタを備えています。
キャパシターとインダクターの両方がサーボモーターによって同時に制御され、プラズマの状況に応じて、瞬間的なチューニングを可能にします。このチューニングは、完全自動で行われます。
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シリーズ
AUTOMATIC MATCHING BOX for RF Power Supply (マッチングボックス) ATL-100RA
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取扱企業
XQ Instruments
AUTOMATIC MATCHING BOX for RF Power Supply (マッチングボックス) ATL-100RA 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 周波数 | 最大入力パワー | 最大反射パワー | 入力インピーダンス | インダクターチューニングレンジ最大 | インダクターチューニングレンジ最小 | キャパシター負荷レンジ最大 | キャパシター負荷レンジ最小 | 寸法 (mm) | 重量 | 冷却 |
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ATL-100RA |
要見積もり | 300KHz-1MHz | 500W | 投入パワーの2％以下 | 50Ω nominal | ≧115μH | ≦45μH | ≧1800pF | ≦50pF | 200x210x450 | 8kg | 空冷 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
