AUTOMATIC MATCHING BOX for RF Power Supply (マッチングボックス) ATL-100RA-ATL-100RA

AUTOMATIC MATCHING BOX for RF Power Supply (マッチングボックス) ATL-100RA
XQ Instruments

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この製品について

このユニットは、自動的に、最適なインピーダンスに整合します。例えば、プラズマエッチング、リアクティブエッチング (R.I.E) 、プラズマCVD、半導体部品製造、あるいはその他のRFプラズマを用いたプロセスで、最適なインピーダンスに調整します。

高速で、高精度なインピーダンス整合を可能とします。プラズマプロセス中に、広範囲なリアクティブインピーダンスへ変換します。このネットワークは、負荷を制御する可変キャパシター (バリコン) と、チューニングを制御する可変インダクタを備えています。

キャパシターとインダクターの両方がサーボモーターによって同時に制御され、プラズマの状況に応じて、瞬間的なチューニングを可能にします。このチューニングは、完全自動で行われます。