Ni 等強磁性体専用強磁場マグネットバー ARM-Bar
XQ Instruments

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この製品について

今まで不可能だったNi等強磁性体ターゲットの成膜を円筒カソードに応用する事が可能になります。

■特徴・ニッケル等、強磁性体円筒ターゲットに利用可能
・安全に円筒ターゲットに挿入可能な特殊機構 (特許) 
・強磁場を使用している為、長時間の連続成膜が可能
・溶射ニッケル、一体物ニッケル、いずれも使用可能
・溶射Niターゲットで5mm厚相当 (直径143mm) で、ターゲット表面磁場500ガウス以上
・正確にターゲット-マグネット間距離を維持する特殊機構
・電磁波シールド、ハードディスク等のアプリケーションに最適