マグネットバー RAMバー (遠隔制御式バー) -RAMバー (遠隔制御式バー)

マグネットバー RAMバー (遠隔制御式バー)
XQ Instruments

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この製品について

約3mの基板幅に対し、±0.5％以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使って信号を送り、マグネットバー内部のモーターに命令を与え、マグネットとターゲット間の距離を0.5umの分解能で調整します。

その調整ポイントが約30cmごとにあり、究極の分布を実現します。

モーターと電池を内蔵。チャンバー外部より、光ファイバーを通じて各ポジションの調整ネジを制御。それにより、マグネットとターゲットの距離を±50umの精度で調整。また光信号で制御する為、スパッタプロセス中にコントロール可能。究極の分布調整が可能となる。