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マグネットバー-TRMバー (標準磁場)
マグネットバー-mQRMバー (中間磁場)
マグネットバー-QRMバー (強磁場)
マグネットバー-XQ Instruments

マグネットバー
XQ Instruments



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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

・ターゲット使用効率の向上、最大85%以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化

  • シリーズ

    マグネットバー

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マグネットバー 品番3件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 構造 磁力 磁場調整ネジ ネジ位置 隣接ネジ許容高低差 最大使用可能ターゲット スパッタアングル 公称分布 公称ターゲット使用効率
マグネットバー-品番-TRMバー (標準磁場)

TRMバー (標準磁場)

要見積もり 3連 582ガウス at 外径150mm =+2mm-7mm 約300mm毎 最大3mm 外径160mm ±12度 ±2%以下 70%以上
マグネットバー-品番-mQRMバー (中間磁場)

mQRMバー (中間磁場)

要見積もり 4連 764ガウス at 外径150mm =+2mm-8mm 約300mm毎 最大2mm 外径170mm ±15度 ±2%以下 85%以上
マグネットバー-品番-QRMバー (強磁場)

QRMバー (強磁場)

要見積もり 4連 1,056ガウス at 外径150mm =+2mm-7mm 約300mm毎 最大2mm 外径180mm ±21度 ±2%以下 85%以上

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

XQ Instrumentsは、半自動プロセス向けの革新的で特許取得済みの機器を開発し製造しています。 主にライフサイエンス/化学研究室、食品・飲料、産業、テスト、およびブティック製造アプリケーション向けの粉末ディ...

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  • 本社所在地: シンガポール
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