マグネットバー
XQ Instruments

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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上
・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) 
・ノジュール起因によるパーティクルの最小化

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フィルター

品番	価格 (税抜)	構造 3連 4連	磁力 582ガウス at 外径150mm 764ガウス at 外径150mm 1,056ガウス at 外径150mm	磁場調整ネジ =+2mm-7mm =+2mm-8mm	ネジ位置	隣接ネジ許容高低差最大3mm 最大2mm	最大使用可能ターゲット外径160mm 外径170mm 外径180mm	スパッタアングル ±12度 ±15度 ±21度	公称分布	公称ターゲット使用効率 70％以上 85％以上
TRMバー (標準磁場)	要見積もり	3連	582ガウス at 外径150mm	=+2mm-7mm	約300mm毎	最大3mm	外径160mm	±12度	±2%以下	70％以上
mQRMバー (中間磁場)	要見積もり	4連	764ガウス at 外径150mm	=+2mm-8mm	約300mm毎	最大2mm	外径170mm	±15度	±2%以下	85％以上
QRMバー (強磁場)	要見積もり	4連	1,056ガウス at 外径150mm	=+2mm-7mm	約300mm毎	最大2mm	外径180mm	±21度	±2%以下	85％以上