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マグネットバー取扱企業
XQ Instruments| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 構造 | 磁力 | 磁場調整ネジ | ネジ位置 | 隣接ネジ許容高低差 | 最大使用可能ターゲット | スパッタアングル | 公称分布 | 公称ターゲット使用効率 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
TRMバー (標準磁場) |
要見積もり |
3連 |
582ガウス at 外径150mm |
=+2mm-7mm |
約300mm毎 |
最大3mm |
外径160mm |
±12度 |
±2%以下 |
70％以上 |
|
|
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mQRMバー (中間磁場) |
要見積もり |
4連 |
764ガウス at 外径150mm |
=+2mm-8mm |
約300mm毎 |
最大2mm |
外径170mm |
±15度 |
±2%以下 |
85％以上 |
|
|
|
QRMバー (強磁場) |
要見積もり |
4連 |
1,056ガウス at 外径150mm |
=+2mm-7mm |
約300mm毎 |
最大2mm |
外径180mm |
±21度 |
±2%以下 |
85％以上 |
