RF電源用特殊ロータリーカソード
XQ Instruments

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この製品について

RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になります。

これにより、円筒セラミックターゲット等の非導電性ターゲットのスパッタや、DC電源とRF電源を重畳させる事による、ITO等の透明電極膜の低抵抗化を期待できます。

■特徴・円筒セラミックターゲット等、非導電性ターゲットの成膜コスト低減
・DC電源とRF電源を重畳させる事による、ITO等の透明導電膜の低抵抗化
・RF電源による損傷を回避した特殊ドライブ機構
・RF電源特有のスキンエフェクトに対する分布悪化を補う特殊機構
・650mm長のターゲットで、DC電源に匹敵する±2％以下の膜厚分布
註：ターゲットが長くなればなるほど、分布が低下する可能性がございます。