静止対向スパッタ用 スイングカソード
XQ Instruments
この製品について
従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置にはロータリーカソードは使えないという欠点がございました。
このスイングカソードは、内部のマグネットバーが首ふり扇風機のように左右に揺動します。このスイングカソードを複数本並べることによって、従来不可能であった静止した基板に対し、±2％以下の分布と共に、ロータリーカソードの最大の利点である、70％以上のターゲット使用効率の両方を実現します。
また、立体物への成膜においても、マグネットを揺動させることにより、従来影になる箇所への材料の回り込みを促進させ、分布の向上を期待できます。更に、マグネットを反転させることで、本生産前に、ダミー基板を消費することなく、ターゲットのクリーニングが可能となります。
内部のマグネットバーが首ふり扇風機のように左右に揺動する。このカソードを複数本並べる事によって、静止した基板に対し、±1％以下の分布と、ロータリーカソードの利点である使用効率70％以上を同時に実現。
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シリーズ
静止対向スパッタ用 スイングカソード
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取扱企業
XQ Instruments
静止対向スパッタ用 スイングカソード 品番3件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ターゲット長さ | 投入可能最大パワー | 専用モーター及び専用ベルト | 水平・垂直搭載 | 投入可能電圧 | 投入可能電流 | 搭載可能最長ターゲット |
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SMS |
要見積もり | 4,000mmまで | 200kW at DC/ 80kHz at MFAC | 含む | 両方可能 | 1,500 V | 450 A | 4,000 mm | |
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MMS |
要見積もり | 4,000mmまで | 200kW at DC/ 80kHz at MFAC | 含む | 両方可能 | 1,500 V | 225 A | 2,500 mm | |
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CMS |
要見積もり | 4,000mmまで | 200kW at DC/ 80kHz at MFAC | 含む | 両方可能 | 1,500 V | 50 A | 1,000 mm |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
