静止対向スパッタ用スイングカソード
XQ Instruments

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この製品について

従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置にはロータリーカソードは使えないという欠点がございました。

このスイングカソードは、内部のマグネットバーが首ふり扇風機のように左右に揺動します。このスイングカソードを複数本並べることによって、従来不可能であった静止した基板に対し、±2％以下の分布と共に、ロータリーカソードの最大の利点である、70％以上のターゲット使用効率の両方を実現します。

また、立体物への成膜においても、マグネットを揺動させることにより、従来影になる箇所への材料の回り込みを促進させ、分布の向上を期待できます。更に、マグネットを反転させることで、本生産前に、ダミー基板を消費することなく、ターゲットのクリーニングが可能となります。

内部のマグネットバーが首ふり扇風機のように左右に揺動する。このカソードを複数本並べる事によって、静止した基板に対し、±1％以下の分布と、ロータリーカソードの利点である使用効率70％以上を同時に実現。

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
静止対向スパッタ用スイングカソード

取扱企業
XQ Instruments

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静止対向スパッタ用スイングカソード品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	対応ターゲット長さ	投入可能最大パワー	専用モーター及び専用ベルト	水平・垂直搭載	投入可能電圧	投入可能電流 450 A 225 A 50 A	搭載可能最長ターゲット 4,000 mm 2,500 mm 1,000 mm
SMS	要見積もり	4,000mmまで	200kW at DC/ 80kHz at MFAC	含む	両方可能	1,500 V	450 A	4,000 mm
MMS	要見積もり	4,000mmまで	200kW at DC/ 80kHz at MFAC	含む	両方可能	1,500 V	225 A	2,500 mm
CMS	要見積もり	4,000mmまで	200kW at DC/ 80kHz at MFAC	含む	両方可能	1,500 V	50 A	1,000 mm