ロータリーカソードサイドマウント型エンドブロック
XQ Instruments

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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上
・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) 
・ノジュール起因によるパーティクルの最小化"

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フィルター

品番	価格 (税抜)	対応ターゲット長さ 4,000mmまで 2,500mmまで 1,000mmまで	投入可能最大パワー 200kW at DC/ 80kHz at MFAC 100kW at DC/ 80kHz at MFAC 20kW at DC/ 80kHz at MFAC	完全片持ち 1,500mmで140kg以下まで可能 1,000mmで140kg以下まで可能 750mmで45kg以下まで可能	専用モーター及び専用ベルト	水平・垂直搭載	マグネット角度
SM (大型基板用)	要見積もり	4,000mmまで	200kW at DC/ 80kHz at MFAC	1,500mmで140kg以下まで可能	含む	両方可能	360度自由に調整可能
MM (中型基板用)	要見積もり	2,500mmまで	100kW at DC/ 80kHz at MFAC	1,000mmで140kg以下まで可能	含む	両方可能	360度自由に調整可能
CM (小型基板用)	要見積もり	1,000mmまで	20kW at DC/ 80kHz at MFAC	750mmで45kg以下まで可能	含む	両方可能	360度自由に調整可能