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全方位成膜用 特殊ロータリカソード-IM (外周360度成膜用特殊カソード)
全方位成膜用 特殊ロータリカソード-XQ Instruments

全方位成膜用 特殊ロータリカソード
XQ Instruments

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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化

■特徴

・ターゲットは回転しません。 ・内部のマグネットバーのみが360度継続回転します。 ・内径125mmのターゲット (標準タイプ) 、内径80mmターゲット (小径タイプ) 、いずれも搭載可能です。

■使用例

・円筒状基材の、内壁面への成膜 ・ターゲットの中心から、TTS距離をおいたその同心円上に配置した基材への成膜

■アプリケーション例

・工具成膜 ・装飾成膜

  • シリーズ

    全方位成膜用 特殊ロータリカソード

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全方位成膜用 特殊ロータリカソード 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応ターゲット長さ 投入可能最大パワー 水平・垂直搭載 マグネット角度 搭載ターゲット 投入可能な最大パワー 投入可能な最大電圧 投入可能な最大電流 搭載可能な最長ターゲット メンテナンス
全方位成膜用 特殊ロータリカソード-品番-IM (外周360度成膜用特殊カソード)

IM (外周360度成膜用特殊カソード)

要見積もり

2,000mmまで

60kW at DCもしくはMFAC

両方可能

ターゲットは回転せず、マグネットバーのみ360度回転しながら成膜する。

内径125mm、内径80mm、両方可能

60kW (DCもしくはMFAC)

1,500V

150A

2,000mm

1時間/年 (回転シール交換の為)

この商品の取り扱い会社情報

XQ Instruments

会社概要

XQ Instrumentsは、半自動プロセス向けの革新的で特許取得済みの機器を開発し製造しています。 主にライフサイエンス/化学研究室、食品・飲料、産業、テスト、およびブティック製造アプリケーション向けの粉末ディ...

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  • 本社所在地: シンガポール

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