全方位成膜用 特殊ロータリカソード
XQ Instruments
この製品について
■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。
・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化■特徴
・ターゲットは回転しません。 ・内部のマグネットバーのみが360度継続回転します。 ・内径125mmのターゲット (標準タイプ) 、内径80mmターゲット (小径タイプ) 、いずれも搭載可能です。■使用例
・円筒状基材の、内壁面への成膜 ・ターゲットの中心から、TTS距離をおいたその同心円上に配置した基材への成膜■アプリケーション例
・工具成膜 ・装飾成膜-
シリーズ
全方位成膜用 特殊ロータリカソード
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取扱企業
XQ Instruments
全方位成膜用 特殊ロータリカソード 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ターゲット長さ | 投入可能最大パワー | 水平・垂直搭載 | マグネット角度 | 搭載ターゲット | 投入可能な最大パワー | 投入可能な最大電圧 | 投入可能な最大電流 | 搭載可能な最長ターゲット | メンテナンス |
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IM (外周360度成膜用特殊カソード) |
要見積もり | 2,000mmまで | 60kW at DCもしくはMFAC | 両方可能 | ターゲットは回転せず、マグネットバーのみ360度回転しながら成膜する。 | 内径125mm、内径80mm、両方可能 | 60kW (DCもしくはMFAC) | 1,500V | 150A | 2,000mm | 1時間/年 (回転シール交換の為) |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
