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小径ターゲット用ドロップイン型カソード-CC80 (内径80mmターゲット用)
小径ターゲット用ドロップイン型カソード-XQ Instruments

小径ターゲット用ドロップイン型カソード
XQ Instruments

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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化 内径80mmの小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。

■特徴

・平面カソードからの置き換えや、小型装置への搭載に適しています。 ・最大投入可能パワー：20kW DC電源またはMFAC電源 ・搭載可能最長ターゲット：1,000mm ・定期メンテナンス：1年あたり1時間 (平均)

  • シリーズ

    小径ターゲット用ドロップイン型カソード

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小径ターゲット用ドロップイン型カソード 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) エンドブロック幅 対応ターゲット長さ 投入可能最大パワー TTS調整 アウトボードサポートブロック 専用モーター及び専用ベルト 水平・垂直搭載 マグネット角度
小径ターゲット用ドロップイン型カソード-品番-CC80 (内径80mmターゲット用)

CC80 (内径80mmターゲット用)

要見積もり

122mm

1,000mmまで

20kW at DC/MFAC

スペーサーを挟むことにより可能

含む

含む

両方可能

調整可能

この商品の取り扱い会社情報

XQ Instruments

会社概要

XQ Instrumentsは、半自動プロセス向けの革新的で特許取得済みの機器を開発し製造しています。 主にライフサイエンス/化学研究室、食品・飲料、産業、テスト、およびブティック製造アプリケーション向けの粉末ディ...

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  • 本社所在地: シンガポール
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