ロータリーカソードドロップイン型エンドブロック
XQ Instruments

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上
・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) 
・ノジュール起因によるパーティクルの最小化

80人以上が見ています

最新の閲覧: 14時間前

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

フィルター

品番	価格 (税抜)	エンドブロック幅 204mm 160mm 58mm 125mm	対応ターゲット長さ 4,000mmまで 2,500mmまで 1,500mmまで	投入可能最大パワー 200kW at DC/ 80kHz at MFAC 100kW at DC/ 80kHz at MFAC 40kW at DC/ 80kHz at MFAC	TTS調整	アウトボードサポートブロック含む両持ちタイプ	専用モーター及び専用ベルト	水平・垂直搭載	マグネット角度 15度刻みで調整可能 360度無段階で調整可能 360度10度刻みで調整可能
SC (大型基板用)	要見積もり	204mm	4,000mmまで	200kW at DC/ 80kHz at MFAC	スペーサーを挟むことにより可能	含む	含む	両方可能	15度刻みで調整可能
MC-D (中型基板用)	要見積もり	160mm	2,500mmまで	100kW at DC/ 80kHz at MFAC	スペーサーを挟むことにより可能	含む	含む	両方可能	360度無段階で調整可能
TC (小型基板用)	要見積もり	58mm	1,500mmまで	40kW at DC/ 80kHz at MFAC	スペーサーを挟むことにより可能	両持ちタイプ	含む	両方可能	360度無段階で調整可能
Compact-MC (cMC 中型基板用)	要見積もり	125mm	2,500mmまで	100kW at DC/ 80kHz at MFAC	スペーサーを挟むことにより可能	含む	含む	両方可能	360度10度刻みで調整可能