ランプアニール装置 (高速熱処理装置)
株式会社ピクリング
この製品について
■特徴
・ウェハサイズに合わせて、3種類のシステムをラインナップしました。 (4インチ/6インチ/8インチ) ・最高昇温速度200℃/秒、最高到達温度1,250℃のクローズドループ高速熱処理に対応。 ・最先端の温度制御アルゴリズムにより、オーバーシュート、アンダーシュートのない熱処理が可能。 ・優れたウェハ間温度プロファイル再現性。 ・広域レンジパイロメーター (非接触高温温度計) による高精度温度計測 (オプション) ・各種プロセスガス用に最大4つのMFC (マスフローメータ) を組み込み可能です。 ・ガラス基板や、化合物半導体用に各種サセプタをご用意しております。 ・高度なレシピ設定、キャリブレーション機能によりR&Dのみならず、生産用途にもご使用いただけます。-
シリーズ
ランプアニール装置 (高速熱処理装置)
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取扱企業
株式会社ピクリング
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カテゴリ
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ランプアニール装置 (高速熱処理装置) 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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ランプアニール装置 (高速熱処理装置) |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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この商品の取り扱い会社情報
- 本社所在地: 神奈川県