ZMI Go! - 超高精度レーザー測長用エレクトロニクスモジュール-ZMI Go!

ZMI Go! - 超高精度レーザー測長用エレクトロニクスモジュール
アメテック株式会社 ZYGO事業部

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この製品について

ナノオーダーの精密計測に対応。超高速ステージ移動にも対応し、あらゆる計測システムの性能を最大化。
EtherCAT/Ethernet/SSI等の多様なインターフェースを搭載。

ZMI Go! 計測エレクトロニクス｜Zygo社
Zygo社製品は、あらゆる光学アプリケーションで信頼されるブランドです。
Zygo社は1970年に米国コネチカット州で創業し、高精度光学部品の設計・製造を手がけてきました。1983年からはレーザー測長技術にも取り組み、半導体製造装置（露光装置など）で培った最先端の計測技術を、他分野・他アプリケーションにも展開しています。

ZMI Go! は、変位計測干渉計システム向けに設計された、コンパクトかつ高機能な電子モジュールです。最大4チャンネル(2台接続すれば最大8チャンネル)の計測に対応し、レーザーパワー出力と通信機能を内蔵。モーションコントロールデバイスとの接続も可能で、精密な位置制御が求められる用途に最適です。

主な特長
-最大4チャンネルの変位計測に対応
-EtherCAT、Ethernet、SSIなどの標準インターフェースを搭載
-最大40kHzの高速更新レート
-市販のステージサーボコントローラと容易に統合可能
-19インチラックへの取り付けに対応
-Ethernetベースの構成により、柔軟なシステム設計が可能
-本製品は、キャリブレーション目的から半導体計測や先端パッケージングなど、高精度かつ高速な計測が求められるアプリケーションにおいて、信頼性の高いソリューションを提供します。