定置型コスモス式ガス検知部 PS-7
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この製品について

センサユニット交換方式の定置型半導体材料ガス検知部です。

半導体工場における半導体材料ガスの漏洩検知に最適です。
・校正済みのセンサユニットをお届けしお手元で交換が可能なので、現場でのガス校正が不要
・NF3検知に対応
・Modbus (RS-485/Ethernet) に対応 (PS-7-M) ※Ethernet通信はPoEに対応
・CE規格、SEMI規格適合

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
定置型コスモス式ガス検知部 PS-7

取扱企業
新コスモス電機株式会社

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定置型コスモス式ガス検知部 PS-7 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対象ガス	ガス採取方式	寸法	質量	使用温湿度範囲	使用電源	消費電力
	PS-7	要見積もり	半導体材料ガス、水素、酸素	自動吸引式	W62×H124×D143mm(オプションと突起部を除く)	約1.0kg	0℃~40℃30~85％RH	DC24V±10％	約7W