ロードロックサイクルマシーン
株式会社MPS

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この製品について

■pro-beam電子銃の特長pro-baem電子銃は旧西ドイツ伝統の高電圧型電子銃と旧東ドイツのビーム制御技術、反射電子利用の技術が融合したものです。従来ドイツメーカーの電子銃は長い焦点距離 (テレフォーカス) 、ドライシールによる高圧の絶縁、優れた光学観察系などが特長でした。

しかしながら、ドライシールはしばしばソケット部の絶縁不良を引き起こし高圧ケーブルやインシュレーターの破損を招く欠点がありました。また、インシュレーターが真空容器を兼ねた構造となっているため熱的に安定するまでに時間が掛かりました。pro-beam電子銃は従来のテレフォーカスガンの良いところはそのままに欠点を克服しています。

また、アルミニウム合金等の比較的アーキングが多い材料を溶接する場合やシビアな品質管理が求められる場合には2レンズシステムや2つのターボ分子ポンプによる排気システム、PWM制御による低リップル高圧電源、パルスビームジェネレータ等をご用意できます。

■pro-beam電子銃の特長・焦点距離が長い
・非点調整機能を備える
・フィラメントの交換が容易
・フィラメントの位置再現性が良い (フィラメント組み付け時の基準と電子銃の取り付け基準面が同じ) 
・絶縁体が短時間に熱的に安定性するためビームの安定に要する時間が短い
・電子銃の上蓋は真空容器の蓋以外の機能を持たない
・容易な高圧ケーブルの接続
・柔軟な高圧ケーブル
・反射電子観察系を標準装備
・ビーム解析機能 (オプション) 
・ビーム自動調整 (焦点、非点調整、ビームアライメント) 
・高速偏向システム (標準25kHz、オプションで100kHz) 

■特長サイクルマシーンは数多く使用されていますが、pro-beam cells社のサイクルマシーンはインデックスを真空中で行うため見かけ上の排気時間は非常に短く、最短で10秒です。それぞれの数字は加工可能なワークの最大径を示しています。PLCまたはCNCでコントロールします。