EM-Suite リソグラフィ・シミュレータ
株式会社インターソフト
この製品について
特長
■EM-Suite (EM-スイート) のソフトウエア・パッケージでリソグラフィ、検査装置など様々なシミュレーションがきます
・3D厳密電磁シミュレーションでフォトマスク上の散乱をシミュレーション ・大気、液浸、積層薄膜内でのイメージ計算、ベクトルイメージ計算 ・3Dでの露光、ベーク (拡散/反応式) 化学増幅レジスト現像の計算■主な応用事例
・液浸リソグラフィ ・渋谷－レベンソン型位相シフトマスク ・ハーフトーン型位相シフトマスク ・クロムレス PSM (CPL) ・バイナリーマスク ・EUV マスク ・EUV 積層ミラーの欠陥 ・ウエハー検査 ・マスク検査 ・Scatterometry (光波散乱計測2D & 3D) ・ガラス上クロム (バイナリー) マスク ・ソース最適化 ・マスク最適化 ・グレーチング ・ピンホール ・収束ビーム ・欠陥解析 ・他-
シリーズ
EM-Suite リソグラフィ・シミュレータ
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取扱企業
株式会社インターソフト
EM-Suite リソグラフィ・シミュレータ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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EM-Suite |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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- 本社所在地: 東京都