EM-Suite リソグラフィ・シミュレータ
株式会社インターソフト

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この製品について

特長
■EM-Suite (EM-スイート) のソフトウエア・パッケージでリソグラフィ、検査装置など様々なシミュレーションがきます・3D厳密電磁シミュレーションでフォトマスク上の散乱をシミュレーション
・大気、液浸、積層薄膜内でのイメージ計算、ベクトルイメージ計算
・3Dでの露光、ベーク (拡散/反応式) 化学増幅レジスト現像の計算

■主な応用事例・液浸リソグラフィ
・渋谷－レベンソン型位相シフトマスク
・ハーフトーン型位相シフトマスク
・クロムレス PSM (CPL) 
・バイナリーマスク
・EUV マスク
・EUV 積層ミラーの欠陥
・ウエハー検査
・マスク検査
・Scatterometry (光波散乱計測2D & 3D) 
・ガラス上クロム (バイナリー) マスク
・ソース最適化
・マスク最適化
・グレーチング
・ピンホール
・収束ビーム
・欠陥解析
・他