Beam解析装置
オプトデバイスコーポレーション株式会社

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この製品について

Beam解析装置は、光Pick-Upや光Pick-Up用対物Lensなどの光集光像の光学的性能評価することを目的としています。BSA-101の後継機種として機能的で且つ測定精度の向上を図ったものです。

顕微鏡光学系の高倍率、低倍率と輝度分布を同時にmonitorすることが可能で、NFP特性のほか輝度分布特性、電動Stageを使用し、Defocus特性、Skew特性など、新しいSystemにあわせた新画像処理Softwareに新計測Algorithmを導入しています。

Beam解析装置機能
■NFP計測高倍率顕微鏡光学系を用いて、各種NFP特性を計測します。

■Intensity計測入射する光を平行光にし、その強度分布を計測します。

■Defocus計測PZTを使用し、焦点を結んだSpot像のDefocus特性を計測します。

■Camera Control光量の違う被検物の計測及び光量を変更して計測したい等、CameraのShutter Speedを制御し、計測します。

■Skew計測被検物に傾きを与え、各傾きにおけるNFP特性を自動計測します。

■Encircled Energy計測一定のAreaやLineに含まれる光量を計測します。

■その他全機種共通
計測結果の収差に最も大きな影響を与える顕微鏡対物Lensを交換せずに擬似Disc (CoverGlass) だけを変更させることが可能です。
・405nm用は専用対物Lensです。
・装置の校正や基準位置の設定など初期状態で決定するParameterを本体Softwareとは別のSetUp用Softwareとして分離、誤操作による基本Parameter変更を防止します
・Disc規格の厚さ及び屈折率が違う複数種類のCGを使用しての性能評価も可能です。

■Shift計測 (BSX-101及び201のみOption対応) ActuatorをTrack方向、Focus方向に駆動し、NFP計測・Intensity計測を行います。従って、Shift計測では、変化する現象を捉えるものではなく変化しないことを確認することになります。

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
Beam解析装置

取扱企業
オプトデバイスコーポレーション株式会社

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Beam解析装置品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	用途 DVD,Blu-ray Pick-Up選択 Blu-ray Pick-Up選択	対物Lens 倍率 DVD50倍, Blu-ray100倍 90倍 100倍	対物Lens NA 0.95 DVD 0.8, Blu-ray 0.95	高倍率検出部 (Spot計測) 倍率対物Lens倍率×5倍 500倍	高倍率検出部視野範囲 2.2/倍率 (mm) ×2.2/倍率 (mm) 4.96/倍率 (mm) ×4.96/倍率 (mm) 1.66mm/倍率×1.66mm/倍率	高倍率検出部 Camera 1/3inch PS CCD 480×480 (Pixel) 4.65μm正方cell 1/3inch CCD 1024×768 (Pixel) 4.65μm 正方形cell 2/3inch PS CCD 480×480 (Pixel) (使用領域) 3.45μm正方cell	低倍率検出部倍率	低倍率検出部視野範囲 3.5/倍率 (mm) ×3.5/倍率 (mm) 4.4/倍率 (mm) ×3.3/倍率 (mm)	低倍率検出部 Camera 1/3inch PS CCD 480×480 (Pixel) 7.4μm 正方形cell 1/3inch CCD 659×494 (Pixel) 7.4μm正方cell 1/3inch PS CCD 480×480 (Pixel) 7.4μm正方cell	輝度分布検出部視野範囲 3.5/倍率 (mm) ×3.5/倍率 (mm) 4.4/倍率 (mm) ×3.3/倍率 (mm)	輝度分布検出部 Camera 1/3inch PS CCD 480×480 (Pixel) 7.4μm 正方cell 1/3inch CCD 659×494 (Pixel) 7.4μm正方cell 1/3inch PS CCD 480×480 (Pixel) 7.4μm正方cell	Cover Glass Unit オプション ○	レボルバ	光学Head微動ステージ	X-Y自動ステージ	TiltX-Yステージ	Piezoelectric素子	Z自動ステージ	Actuator駆動制御	外形寸法W x D x H (mm)	ソフト BSX-101 BSX-201 BSX-501	OS	電源
BSX-101	要見積もり	DVD,Blu-ray Pick-Up選択	DVD50倍, Blu-ray100倍	DVD 0.8, Blu-ray 0.95	対物Lens倍率×5倍	2.2/倍率 (mm) ×2.2/倍率 (mm)	1/3inch PS CCD 480×480 (Pixel) 4.65μm正方cell	対物Lens倍率×0.25倍	3.5/倍率 (mm) ×3.5/倍率 (mm)	1/3inch PS CCD 480×480 (Pixel) 7.4μm 正方形cell	3.5/倍率 (mm) ×3.5/倍率 (mm)	1/3inch PS CCD 480×480 (Pixel) 7.4μm 正方cell	オプション	○	○	○	○	○	オプション	オプション	600x600x800	BSX-101	Windows XP	AC100V
BSX-201	要見積もり	DVD,Blu-ray Pick-Up選択	90倍	0.95	対物Lens倍率×5倍	4.96/倍率 (mm) ×4.96/倍率 (mm)	1/3inch CCD 1024×768 (Pixel) 4.65μm 正方形cell	対物Lens倍率×0.25倍	4.4/倍率 (mm) ×3.3/倍率 (mm)	1/3inch CCD 659×494 (Pixel) 7.4μm正方cell	4.4/倍率 (mm) ×3.3/倍率 (mm)	1/3inch CCD 659×494 (Pixel) 7.4μm正方cell	○	○	○	○	○	○	オプション	オプション	600x600x800	BSX-201	Windows XP	AC100V
BSX-501	要見積もり	Blu-ray Pick-Up選択	100倍	0.95	500倍	1.66mm/倍率×1.66mm/倍率	2/3inch PS CCD 480×480 (Pixel) (使用領域) 3.45μm正方cell	対物Lens倍率×0.25倍	3.5/倍率 (mm) ×3.5/倍率 (mm)	1/3inch PS CCD 480×480 (Pixel) 7.4μm正方cell	3.5/倍率 (mm) ×3.5/倍率 (mm)	1/3inch PS CCD 480×480 (Pixel) 7.4μm正方cell	○	○	○	○	○	○	オプション	オプション	600x600x800	BSX-501	Windows XP	AC100V